用于半导体测试的舌簧继电器应用
在半导体晶圆制造完成后、被切割成单个芯片并封装成组件之前,需进行晶圆探针测试。这些测试由晶圆探针机(一种自动测试设备,ATE)执行,用于验证每个芯片的功能,无论是二极管、晶体管等相对简单的结构,还是处理器、微控制器、存储器及模数转换器等复杂集成电路。
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本应用指南目录:
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半导体测试
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舌簧继电器成为理想选择的五大理由
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推荐产品型号
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选择Pickering Electronics舌簧继电器的理由
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探针在晶圆上移动,与单个芯片表面的焊盘连接,施加自动测试设备(ATE)提供的测试条件(如电压、电流或波形),并测量ATE需要记录的电压电平、电流或输出波形等参数。
半导体测试方法包括直流参数测试(在不同电流和电压水平下)和交流参数测试(在不同频率下),以确保器件符合规定的规格要求,以及功能测试以确保其按预期工作。对于功率半导体器件,需施加并记录高电压;对于高频/射频(HF/RF)器件,则需施加并记录相应的波形。
这意味着自动测试设备(ATE)必须能够提供多种测试条件。然而,探针站可能只有少数探针(通常仅两根为标准配置),因此ATE需要在多种测试条件之间切换,并将测试结果引导至相应的信号调理电路。这正是舌簧继电器作为可控开关器件发挥其重要价值的地方,主要原因有以下五点……